半导体、集成电路用超纯水系统

　　工艺流程

　　预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→中间水箱→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2精密过滤器→用水点(≥18MΩ.CM)(最新工艺)

　　预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水点(≥17MΩ.CM)(最新工艺)

　　应用领域

　　◆化工材料的生产和加工过程所用的溶剂及清洗过程

　　◆超纯材料和超纯化学试剂

　　◆实验室和中试车间

　　◆电子半导体、集成电路板上用到的化工材料

　　◆石英、硅材料生产、加工、提纯

　　◆高纯墨水、传真打印机中的喷墨、纳米墨水